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氧化物陶瓷粉材
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Y?O? 高纯陶瓷氧化钇粉末 石墨板喷涂
详细内容


 粉体材料类型
 Y?O? 高纯陶瓷氧化钇粉末 石墨板喷涂 球形 纯度:99.5% 凝聚和烧结
 牌号(PZ
 PZ- 6035A-1
 规格(μm)
 –53 +15  –106 +16
 性能及应用

 暴露表面的等离子体蚀刻和耐侵蚀性,

 用于半导体制造中的反应等离子体气体系统,如真空室壁等部件。

 静电轻叩

 石墨模具衬里



典型的化学成分


Y?0? 99.5
Fe?0? <0.1%
Al?0? <0.1%
Ca0 <0.1%
Si0? < 0.1%

喷 雾 参 数


 Plasmagenerator   F4 
Plasma Gas Ar(SLPM) 42
Plasma Gas H?(SLPM) 11
Current(A) 550
Spray Distnce(mm) 120


涂 层 性 能


硬度::约.1.000 HV 0.3  适用于540℃   具有良好的研磨抛光性能


产 品 应 用



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